簡便來講,模組紋飾偏差就是所指電子元件浮雕不當阻礙或是脫落,因此誘發造影晶圓之上的的繪圖構型消失不足之處。比方說,即使模塊紅底(Pattern上以再次出現了能這個大點缺角,大家並稱現像「老鼠。
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老鼠咬痕|ASML